| ชื่อเรื่อง | : | SU-8 Piezoresistive Microcantilever For Chemical Sensing Application |
| นักวิจัย | : | Lee, Kok Siong |
| คำค้น | : | QD1-999 Chemistry |
| หน่วยงาน | : | Universiti Sains Malaysia, Malaysia |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2554 |
| อ้างอิง | : | http://eprints.usm.my/41933/1/LEE_KOK_SIONG.pdf , Lee, Kok Siong (2011) SU-8 Piezoresistive Microcantilever For Chemical Sensing Application. Masters thesis, Universiti Sains Malaysia. |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | http://ezproxy.usm.my/login?url=http ://ethesis.usm.my/jspui , http://eprints.usm.my/41933/ |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | In this research, the ultraviolet (UV) patternable polymer material, SU-8 with very low Young’s modulus compared to conventional silicon based material, is utilized as structural material for microcantilever to enhance the piezoresistive strain. In addition to that, a thorough Finite Element Analysis (FEA) has been carried out for SU-8 piezoresistive microcantilever under the surface stress loading to help in improving the piezoresistive strain when designing the cantilever sensor. The analysis result concluded that the SU-8 cantilevers for chemical sensing should have lower length to width (L/W) ratio for higher piezoresistive strain. |
| บรรณานุกรม | : |
Lee, Kok Siong . (2554). SU-8 Piezoresistive Microcantilever For Chemical Sensing
Application.
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Lee, Kok Siong . 2554. "SU-8 Piezoresistive Microcantilever For Chemical Sensing
Application".
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Lee, Kok Siong . "SU-8 Piezoresistive Microcantilever For Chemical Sensing
Application."
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia, 2554. Print. Lee, Kok Siong . SU-8 Piezoresistive Microcantilever For Chemical Sensing
Application. กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia; 2554.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
