Etching Effect On The Formation Of Silicon Nanowire Transistor Patterned By AFM Lithography.

ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Etching Effect On The Formation Of Silicon Nanowire Transistor Patterned By AFM Lithography.

หน่วยงาน Universiti Sains Malaysia, Malaysia

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง	:	Etching Effect On The Formation Of Silicon Nanowire Transistor Patterned By AFM Lithography.
นักวิจัย	:	Abdullah, A. Makarimi , Hutagalung, Sabar D. , Lockman, Zainovia
คำค้น	:	TN1-997 Mining engineering. Metallurgy
หน่วยงาน	:	Universiti Sains Malaysia, Malaysia
ผู้ร่วมงาน	:	-
ปีพิมพ์	:	2553
อ้างอิง	:	http://eprints.usm.my/19500/1/International_Conference_on_Nanotechnology.pdf , Abdullah, A. Makarimi and Hutagalung, Sabar D. and Lockman, Zainovia (2010) Etching Effect On The Formation Of Silicon Nanowire Transistor Patterned By AFM Lithography. In: Proceedings of the International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications , 4-6 August 2010, Ottawa, Ontario, Canada.
ที่มา	:	-
ความเชี่ยวชาญ	:	-
ความสัมพันธ์	:	http://eprints.usm.my/19500/
ขอบเขตของเนื้อหา	:	-
บทคัดย่อ/คำอธิบาย	:	Anisotropic etching of silicon has been widely used in fabrication of MEMS devices for many years. In this work, TMAH and KOH with IPA are used to etch silicon nanowire transistor patterns.
บรรณานุกรม	:	APA Chicago MLA Vancouver Abdullah, A. Makarimi , Hutagalung, Sabar D. , Lockman, Zainovia . (2553). Etching Effect On The Formation Of Silicon Nanowire Transistor Patterned By AFM Lithography.. กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Abdullah, A. Makarimi , Hutagalung, Sabar D. , Lockman, Zainovia . 2553. "Etching Effect On The Formation Of Silicon Nanowire Transistor Patterned By AFM Lithography.". กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Abdullah, A. Makarimi , Hutagalung, Sabar D. , Lockman, Zainovia . "Etching Effect On The Formation Of Silicon Nanowire Transistor Patterned By AFM Lithography.." กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia, 2553. Print. Abdullah, A. Makarimi , Hutagalung, Sabar D. , Lockman, Zainovia . Etching Effect On The Formation Of Silicon Nanowire Transistor Patterned By AFM Lithography.. กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia; 2553.