| ชื่อเรื่อง | : | Investigation of low dielectric constant (k) films for deep sub-micron CMOS application. |
| นักวิจัย | : | Cheon'g, Kuan Yew , Hussain, Luay Bakir |
| คำค้น | : | TN1-997 Mining engineering. Metallurgy |
| หน่วยงาน | : | Universiti Sains Malaysia, Malaysia |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | Cheon'g, Kuan Yew and Hussain, Luay Bakir (2007) Investigation of low dielectric constant (k) films for deep sub-micron CMOS application. Project Report. Universiti Sains Malaysia. |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | http://eprints.usm.my/10419/ |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | Silica (Si02) thin film on Si with low dielectric constant (k) properties has been systematically prepared and investigated. Two types of this low-k material have been deposited on Si via sol-gel spin-on coating. Filem nipis silika (Si02) yang berpemalar dieletrik rendah endap di atas Si tlah disediakan dan dikaji dengan sistematik. Dua jenis film nipis telah disediakan menggunkan pemutaran sol-gel. |
| บรรณานุกรม | : |
Cheon'g, Kuan Yew , Hussain, Luay Bakir . (2550). Investigation of low dielectric constant (k) films for deep sub-micron CMOS application..
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Cheon'g, Kuan Yew , Hussain, Luay Bakir . 2550. "Investigation of low dielectric constant (k) films for deep sub-micron CMOS application.".
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Cheon'g, Kuan Yew , Hussain, Luay Bakir . "Investigation of low dielectric constant (k) films for deep sub-micron CMOS application.."
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia, 2550. Print. Cheon'g, Kuan Yew , Hussain, Luay Bakir . Investigation of low dielectric constant (k) films for deep sub-micron CMOS application.. กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia; 2550.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
