วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2531

ในงานวิจัยนี้ได้สร้างระบบซี-วี ควบคุมโดยคอมพิวเตอร์เพื่อใช้ในการศึกษาการวัดความสัมพันธ์ ความจุ-แรงดันไฟฟ้าของโครงสร้าง MIS ระบบที่สร้างขึ้นเป็นการเชื่อมต่อเครื่องวัดค่าความจุไฟฟ้า (Boonton 72A), เครื่องจ่ายไฟตรงแบบโปรแกรมได้ (Kepco ABC 425M) และเครื่องไมโครคอมพิวเตอร์แอปเปิลทู โดยสร้างส่วนอินเตอร์เฟสขึ้นมา เพื่อให้เป็นระบบเก็บบันทึกข้อมูลอัตโนมัตินอกจากนี้ยยังได้สร้างเครื่องวัดคาบเวลาเมื่อใช้ร่วมกับระบบซี-วี จะทำให้สามารถวัดลักษณะความจุไฟฟ้าเวลาของโครงสร้าง MIS ได้อีกด้วย จากข้อมูล ความจุ-แรงดันไฟฟ้าและความจุไฟฟ้า-เวลา เราสามารถหาปริมาณบ่งชี้ทางไฟฟ้า ได้แก่ ชนิดของพาหะข้างมาก, ปริมาณความเข้มข้นสารเจือปน, โปรไฟล์สารเจือปนและช่วงชีวิตของพาหะข้างน้อย การทดสอบการทำงานของระบบ ซี-วี กระทำโดยการทดลองใช้วัดตัวอย่างมาตรฐาน (อุปกรณ์ MOS มีโครงสร้างเป็นแบบ Al-SiO2-Si) พบว่า ค่าที่วัดได้จากระบบซี-วี มีค่าใกล้เคียงกับข้อมูลของตัวอย่างมาตรฐาน