| ชื่อเรื่อง | : | The electrical and mechanical properties of Au-V and Au- V2 O5 thin films for wear-resistant RF MEMS switches |
| นักวิจัย | : | Bannuru T. , Brown W.L. , Narksitipan S. , Vinci R.P. |
| คำค้น | : | - |
| หน่วยงาน | : | มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2551 |
| อ้างอิง | : | 00218979 , 10.1063/1.2902954 , JAPIA , http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-43049134835&partnerID=40&md5=e4af8b9310834f2743d8f79bd35b538b , http://cmuir.cmu.ac.th/handle/6653943832/5540 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | To explore alternatives to the use of pure Au in Ohmic contact RF microelectromechanical switches, we have measured changes in the electrical resistivity and nanoindentation hardness of a series of sputter deposited Au-V and Au- V2 O5 thin films. Increasing V content in the Au-V alloys increases resistivity and hardness, which is consistent with solid solution strengthening. In the Au- V2 O5 films, the increase in resistivity is greatly reduced and the hardness is further increased as expected for dispersion strengthening with V2 O5 particles. These two phenomena are explained in terms of solute and particle effects on electron scattering and bowing of dislocations, respectively. © 2008 American Institute of Physics. |
| บรรณานุกรม | : |
Bannuru T. , Brown W.L. , Narksitipan S. , Vinci R.P. . (2551). The electrical and mechanical properties of Au-V and Au- V2 O5 thin films for wear-resistant RF MEMS switches.
เชียงใหม่ : มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ . Bannuru T. , Brown W.L. , Narksitipan S. , Vinci R.P. . 2551. "The electrical and mechanical properties of Au-V and Au- V2 O5 thin films for wear-resistant RF MEMS switches".
เชียงใหม่ : มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ . Bannuru T. , Brown W.L. , Narksitipan S. , Vinci R.P. . "The electrical and mechanical properties of Au-V and Au- V2 O5 thin films for wear-resistant RF MEMS switches."
เชียงใหม่ : มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ , 2551. Print. Bannuru T. , Brown W.L. , Narksitipan S. , Vinci R.P. . The electrical and mechanical properties of Au-V and Au- V2 O5 thin films for wear-resistant RF MEMS switches. เชียงใหม่ : มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ ; 2551.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
