วิทยานิพนธ์ (วศ.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2555

งานวิจัยนี้มีแนวคิดในการพัฒนากระบวนการสร้างไมโครแอคชัวเอเตอร์แบบโลหะผสมจำรูปที่มีลักษณะเป็นคานสองชั้นซึ่งประกอบด้วยนิทินอลกับทองแดง โดยกระบวนการสร้างเป็นกระบวนการที่ง่ายไม่ซับซ้อนและไม่ใช้แผ่นซิลิกอน เทคนิคที่พัฒนาขึ้นมาเริ่มจากสร้างโครงสร้างทองแดงแบบลอยตัวที่มีความหนา 12 ไมโครเมตร ด้วยเทคนิคการชุบโลหะไฟฟ้าเคมีลงบนแผ่นสเตนเลสที่มีการสร้างแบบหล่อด้วยโฟโต้รีซิสเป็นรูปร่างของไมโครแอคชัวเอเตอร์อยู่ด้านบน หลังจากนั้นจึงนำไปล้างด้วยสารละลายโซเดียมไฮดรอกไซด์ ซึ่งจะทำให้โครงสร้างทองแดงหลุดออกมา ในขั้นตอนต่อไปจึงนำโครงสร้างทองแดงแบบลอยตัวไปเคลือบฟิล์มนิทินอลที่ความหนา 5 ไมโครเมตร ด้วยเทคนิคการสปัตเตอริง แล้วจึงนำไมโครแอคชัวเอเตอร์ไปทำการอบฟิล์มนิทินอลที่อุณหภูมิสูงด้วยเตาอบแบบหลอดควอทซ์โดยมีก๊าซอาร์กอนไหลผ่าน ไมโครแอคชัวเอเตอร์ที่สร้างขึ้นมีรูปร่างคล้ายตัวยูคว่ำประกอบด้วยขา 2 ข้าง (0.25x22 ตารางมิลลิเมตร) และส่วนปลาย (3x3 ตารางมิลลิเมตร) งานวิจัยได้ทำการทดลองอบฟิล์มนิทินอลที่อุณหภูมิ 500, 600 และ 650 องศาเซลเซียส เป็นระยะเวลา 30 นาที และทำการทดสอบคุณลักษณะจำเพาะของฟิล์มนิทินอลด้วยวิธีต่างๆพบว่า การอบฟิล์มนิทินอลที่อุณหภูมิ 600 และ 650 องศาเซลเซียส สามารถสร้างฟิล์มนิทินอลที่มีโครงสร้างผลึกได้ แต่จะเกิดออกไซด์บนผิวฟิล์มหลังการอบแล้ว หลังจากนั้นได้นำไมโครแอคชัวเอเตอร์ที่ไม่ทำการอบและทำการอบด้วยแบบหล่อคอนกรีตลักษณะแบนราบและโค้ง (รัศมีความโค้ง 22 มิลลิเมตร) ที่อุณหภูมิ 650 องศาเซลเซียส มาทำการทดสอบด้วยการวัดระยะกระดกเมื่อเพิ่มอุณหภูมิโดยการให้ความร้อนแก่ไมโครแอคชัวเอเตอร์โดยตรงพบว่า ไมโครแอคชัวเอเตอร์ที่ทำการอบจะมีระยะกระดกที่สูงกว่าไมโครแอคชัวเอเตอร์ที่ไม่ทำการอบ แต่ลักษณะในการอบส่งผลต่อระยะกระดกของไมโครแอคชัวเอเตอร์เพียงเล็กน้อยเท่านั้น โดยที่ระยะกระดกของไมโครแอคชัวเอเตอร์ที่ไม่ทำการอบกับไมโครแอคชัวเอเตอร์ที่ทำการอบด้วยแบบหล่อแบนราบและโค้งที่อุณหภูมิ 80 องศาเซลเซียส จะมีค่าเท่ากับ 0.57, 0.94 และ 0.84 มิลลิเมตร ตามลำดับ หลังจากนั้นจึงทำการทดสอบวัดระยะกระดกของไมโครแอคชัวเอเตอร์ด้วยการจ่ายกระแสไฟฟ้าตั้งแต่ 0.50-1.25 แอมแปร์ในช่วงความถี่ตั้งแต่ 0.5-2.5 เฮิร์ทซแก่ไมโครแอคชัวเอเตอร์พบว่า ระยะระหว่างระยะกระดกสูงสุดกับ ระยะกระดกต่ำสุดของไมโครแอคชัวเอเตอร์ที่ไม่ทำการอบกับไมโครแอคชัวเอเตอร์ที่อบด้วยแบบหล่อแบนราบและโค้ง ที่กระแสไฟฟ้า 1.25 แอมแปร์และความถี่ 0.5 เฮิร์ทซ จะมีค่าเท่ากับ 0.12, 1.7 และ 1.3 มิลลิเมตร ตามลำดับ