รายงานฉบับนี้นำเสนอผลการดำเนินการวิจัย และ พัฒนา ระบบตรวจวัดด้วยการเลี้ยวเบนของแสง เพื่อนำมาใช้ศึกษา และ วิเคราะห์ความขนาน และ ความตั้งฉากกัน ของพื้นผิวที่ประกอบกันเป็นหัวอ่านฮาร์ดดิสค์ไดร์ฟ (Slider) หรือ ของเส้นแผ่นเวเฟอร์ (Roll Bar) ระบบที่พัฒนาขึ้นอาศัยความรู้พื้นฐานที่ว่า แสงสามารถเลี้ยวเบนที่ขอบของหัวอ่านฮาร์ดดิสค์ไดร์ฟได้ และ มีรูปแบบการเลี้ยวเบนที่เฉพาะ ซึ่งเราสามารถนำมาใช้คำนวณหาขนาดในแต่ละด้านของหัวอ่านฮาร์ดดิสค์ไดร์ฟ วิเคราะห์ความขนาน และ ความตั้งฉากกันของพื้นผิวได้ ผลการทดสอบเบื้องต้นกับเส้นแผ่นเวเฟอร์จำนวน 27 ชิ้น แสดงให้เห็นแนวโน้มของการวิเคราะห์คุณภาพของชิ้นงานผ่านตัวแปรอย่าง ความหนาของชิ้นงาน ความกว้างของชิ้นงาน แนวของเส้นแสงเลี้ยวเบน และ ปริมาณของแสงในแสงเลี้ยวเบนลำดับต่างๆ การพัฒนาต่อยอดในอนาคตจะเกี่ยวข้องกับการนำระบบเลื่อนชิ้นงานแบบอัตโนมัติ (Automation) เข้ามาช่วย และ เพิ่มจำนวนชิ้นงานในการทดสอบแบบ Load/Unload เพื่อให้เห็นผลทางสถิติที่ชัดเจนมากขึ้น