| ชื่อเรื่อง | : | การปลูกผลึก InAs บนแผ่นผลึกฐานเริ่มต้น GaAs ด้วยวิธีการปลูกผลึกอิพิแทกซีจากลำโมเลกุล |
| นักวิจัย | : | สมชัย รัตนธรรมพันธ์ , ชุมพล อันตรเสน |
| คำค้น | : | การปลูกผลึกอิพิแทกซีจากลำโมเลกุล , สารกึ่งตัวนำ |
| หน่วยงาน | : | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
| ผู้ร่วมงาน | : | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์ , จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์ |
| ปีพิมพ์ | : | 2547 |
| อ้างอิง | : | http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/8381 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | โครงการวิจัยเลขที่ 65G-EE-2547 |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | โครงการวิจัยนี้ได้ทำการศึกษาการปลูกผลึกอิพิแทกซี InAs บนแผ่นผลึกฐานเริ่มต้น (100) GaAs ด้วยวิธีการปลูกผลึกจากลำโมเลกุล ซึ่งคุณสมบัติเชิงไฟฟ้าของชั้นผลึกอิพิแทกซี InAs เป็นสารกึ่งตัวนำชนิดเอ็น (n-type) มีค่าความเข้มข้นพาหะอยู่ในช่วง 2.2x10[superscript 16]-8x10[superscript 16] cm[superscript -3] ค่าความคล่องตัวเฉพาะ 5,400-6,800 cm[superscript 2] V[superscript -1] s[superscript -1] ค่าความไวผลตอบสนองแม่เหล็ก 0.8-1.4x10 [superscript -5] Volt/Gauss โดยผลที่ได้นั้นขึ้นกับเงื่อนไขที่ใช้ในการปลูกผลึก ได้แก่ ค่าอุณหภูมิแผ่นผลึกฐานะทำการปลูกผลึก ค่าอัตราส่วน BEP ของ As [subscript 4]/In และค่าอัตราการปลูกผลึก นอกจากนี้คุณภาพผิวหน้าผลึก (Surface morphology) ที่ได้ก็ขึ้นกับเงื่อนไขดังกล่าวด้วยเช่นเดียวกัน สำหรับเงื่อนไขที่เหมาะสมในการปลูกผลึกอิพิแทกซี InAs บนแผ่นผลึกฐานเริ่มต้น (100) GaAs ที่มีคุณภาพผิวหน้าผลึกที่ดี ค่าความคล่องตัวพาหะ และค่าความไวผลตอบสนองแม่เหล็กสูงมีดังต่อไปนี้คือ ค่าอุณหภูมิแผ่นผลึกฐานขณะทำการปลูกผลึกอยู่ในช่วง 470-490องศาเซลเซียส ค่าอัตราส่วน BEP ของ As[subscript 4]/In อยู่ในช่วง 26-30 และอัตราการปลูกผลึกอยู่ในช่วง 0.35-0.45 ML/วินาที |
| บรรณานุกรม | : |
สมชัย รัตนธรรมพันธ์ , ชุมพล อันตรเสน . (2547). การปลูกผลึก InAs บนแผ่นผลึกฐานเริ่มต้น GaAs ด้วยวิธีการปลูกผลึกอิพิแทกซีจากลำโมเลกุล.
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. สมชัย รัตนธรรมพันธ์ , ชุมพล อันตรเสน . 2547. "การปลูกผลึก InAs บนแผ่นผลึกฐานเริ่มต้น GaAs ด้วยวิธีการปลูกผลึกอิพิแทกซีจากลำโมเลกุล".
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. สมชัย รัตนธรรมพันธ์ , ชุมพล อันตรเสน . "การปลูกผลึก InAs บนแผ่นผลึกฐานเริ่มต้น GaAs ด้วยวิธีการปลูกผลึกอิพิแทกซีจากลำโมเลกุล."
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2547. Print. สมชัย รัตนธรรมพันธ์ , ชุมพล อันตรเสน . การปลูกผลึก InAs บนแผ่นผลึกฐานเริ่มต้น GaAs ด้วยวิธีการปลูกผลึกอิพิแทกซีจากลำโมเลกุล. กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย; 2547.
|
