| ชื่อเรื่อง | : | High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor |
| นักวิจัย | : | Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Mechanical engineering. |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2555 |
| อ้างอิง | : | Heidari, A., Yoon, Y.-J., Park, M. K., Park, W.-T., & Tsai, J. M.-L. (2012). High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor. Sensors and Actuators A: Physical, 188, 82-88. , 0924-4247 , http://hdl.handle.net/10220/12124 , http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2012.03.040 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | Sensors and actuators A: physical |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | A new high performance mass sensor is designed and fabricated. The mass sensor is a single-crystal silicon squared resonator with dielectric filled capacitive excitation mechanism. The resonators were fabricated using the silicon-on-insulator MEMS process. In order to study the mass sensitivity of the fabricated resonator, a polyelectrolyte multilayer (PEM) is used to coat on the resonator surface. The resonator has the resonance frequency of 34.81 MHz, mass sensitivity of 105.4 μm2/ng. Experimental measurements of the mass sensitivities agree with theoretical predictions. The new developed mass sensor shows a high potential to be used in gas sensing and bio detection applications. |
| บรรณานุกรม | : |
Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin . (2555). High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor.
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin . 2555. "High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin . "High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2555. Print. Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin . High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2555.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
