เทอร์โมคัปเปิลเป็นอุปกรณ์วัดอุณหภูมิ ซึ่งประกอบด้วยวัสดุตัวนำสองชนิด ต่างกัน โดยปลายข้างหนึ่งถูกเชื่อมต่อกัน เมื่อเกิดผลต่างของอุณหภูมิจะเกิดแรงพัน ไฟฟ้าตกคร่อมเทอร์โมคัปเปิล โดยค่าแรงดันไฟฟ้าขึ้นกับชนิดของวัสดุและผลต่างของ อุณหภูมิ และเมื่อนำเทอร์โมคัปเปิลมาต่ออนุกรมกัน จะทำให้ได้ค่าเอาท์พุทสูงขึ้น ซึ่งเรียกว่า "เทอร์โมไพล์" สำหรับวิทยานิพนธ์ฉบับนี้ได้นำเสนอการวิจัย การศึกษาคุณสมบัติของซิลิคอน เทอร์โมไพล์บนฐานรองซิลิคอนซึ่งวัตถุประสงค์ของงานวิจัยคือ การศึกษาวิธีการสร้าง ซิลิคอนเทอร์โมไพล์และฮีตเตอร์แบบโลหะจนเป็นอุปกรณ์ที่สมบูรณ์ โดยโครงสร้างของ อุปกรณ์จะอยู่บนไดอะแฟรมประกอบด้วย เทอร์โมไพล์และฮีตเตอร์ เริ่มจากการนำแผ่น ซิลิคอนระนาบ (100) มาสร้างเป็นไดอะแฟรมด้วยกระบวนการกัดเนื้อซิลิคอนแบบแอนไอไซ ทรอปิคในสารละลาย โดยการใช้เทคนิคการจับเวลา แล้วทำการแพร่สารเจือแบบความร้อน ลงบนแผ่นซิลิคอนเพื่อสร้างเป็นแถบสารเจือแล้วสร้างฮีตเตอร์จากฟิล์มไททาเนียมและแถบ อลูมิเนียมเพื่อเชื่อมต่อเป็นเทอร์โมไพล์มโดยการระเหยในระบบสุญญากาศ ซึ่งฮีตเตอร์ จะเป็นแหล่งกำเนิดความร้อนเพื่อสร้างผลต่างของอุณหภูมิระหว่างรอยต่อร้อนและรอยต่อ เย็นและฮีตเตอร์ให้อุณหภูมิในช่วง 25 - 45.5 (+,ฐ)C จากการทดลองพบว่าค่าเอาท์พุท เทอร์โมไพล์จะแปรผันตรงกับผลต่างของอุณหภูมิและชนิดของวัสดุ โดยค่าสัมประสิทธิ์ ซีเบ็คอยู่ในช่วง 150 - 620 (+,m)V/K และค่าความไวเทอร์โมไพล์อยู่ในช่วง 12.5-1035 mV/W การประยุกต์ใช้เทอร์โมไพล์เป็นตัววัดอัตราการไหลของก๊าซ ซึ่งมี โครงสร้างส่วนสำคัญคือ ช่องอุโมงค์สำหรับให้ก๊าซไหลผ่านไดอะแฟรมเพื่อพาความร้อน ซึ่งในการทดลองนี้จะสามารถให้ก๊าซไหลผ่านได้สูงสุด 450 sccm และได้ค่าความไวของ การวัดอัตราการไหลของก๊าซ 0.147