การเคลือบฟิล์มบางด้วยวิธี ดีซี พลานาร์ แมกนิตรอน สปัตเตอริง เป็นวิธีการเคลือบฟิล์มบางที่อาศัยขบวนการดิสชาร์จ ทางไฟฟ้าของก๊าซ โดยมีสารเคลือบเป็นเป้าภายใต้บรรยากาศ ความดันต่ำ โดยใช้แม่เหล็กถาวรขนาด 1,000 เกาส์ ติดไว้ที่ ขั้วคาโธด เพื่อช่วยในการเพิ่มอัตราการสปัตเตอริง โดยมี ทิศทางสนามแม่เหล็กขนานกับผิวหน้าของแผ่นเป้าสารเคลือบ ในการทำการทดลองได้ทำการปั๊มระบบแชมเบอร์สุญญากาศ โดยสามารถลดความดันถึงค่า 8 x 10(-6) มิลลิบาร์ ทำให้ ระบบมีความสะอาดเพียงพอที่จะทำการเคลือบ และได้ออกแบบ สร้างแหล่งจ่ายกำลังไฟฟ้ากระแสตรงสำหรับระบบก๊าซดิสชาร์จ ที่สามารถจ่ายกระแสคงที่ได้สูงสุด 2 แอมแปร์ สำหรับจ่ายให้ ระบบเพื่อหาค่ากระแสกับแรงดันดิสชาร์จของเป้าสารเคลือบโลหะ ที่ใช้ทดลอง 4 ชนิด ได้แก่ ไททาเนียม, ทองแดง, สแตนเลส และอลูมิเนียม เพื่อนำไปคำนวณหาค่ากำลังไฟฟ้า โดยผลของ ค่ากำลังไฟฟ้าที่ได้จะมีลักษณะความสัมพันธ์กับค่าอัตราการเคลือบ เป็นเชิงเส้น ทำให้สามารถหาค่าประสิทธิภาพของอัตราการ เคลือบของระบบสปัตเตอริงนี้ได้จากการคำนวณค่าความชัน ของความสัมพันธ์ที่ค่าความดันนั้น และได้ทำการศึกษาและ วิเคราะห์ปรากฎการณ์ก๊าซดิสชาร์จของระบบสปัตเตอริง โดยอาศัยความสัมพันธ์ที่เกี่ยวข้องกันของค่ากระแสดิสชาร์จ, ค่าแรงดันดิสชาร์จ, ค่ากำลังไฟฟ้า, ค่าอัตราการเคลือบ และค่าความดันของก๊าซภายในระบบที่ได้จากผลการทดลอง