การวิเคราะห์ธาตุในฝุ่นจากอากาศโดยเทคนิคการเรืองรังสีเอกซ์ใช้ทั้งระบบ WDX และ EDX การวิเคราะห์ธาตุปริมาณน้อย ได้แก่ ตะกั่วแมงกานีส โบรมีน นิกเกิล สังกะสี เหล็ก ทิเทเนียม โครเมียม ทองแดงและกำมะถัน ด้วยระบบ WDX พบว่าขีดจำกัดในการวิเคราะห์ธาตุเหล่านี้บนกระดาษกรองเซลลูโลส (Whatman เบอร์ 41) ขนาดพื้นที่ 9.621 ตารางเซนติเมตร มีค่าเป็น 0.22 0.15 0.14 0.09 0.10 0.200.21 0.18 0.09 และ 2.10 ไมโครกรัม ตามลำดับ จากการเปรียบเทียบผลวิเคราะห์ที่ได้รับกับวิธีอินดัคทีฟลิคับเปิลพลาสมาอิมิชชันสเปคโทรเมตรี และอะตอมมิคแอบสอร์บชันสเปคโทรโฟโตเมตรี พบว่าค่าที่ได้อยู่ในเกณฑ์ที่ยอมรับ สำหรับธาตุหลักที่เป็นส่วนประกอบของฝุ่นจากอากาศ วิเคราะห์ด้วยระบบ EDX การแก้ไขผลรบกวนเนื่องจากแมทริกซ์ทำโดยใช้วิธีอัตราส่วนของพีคต่อค่าแบคกราวน์ นอกจากนี้ ยังศึกษาถึงการใช้กล้องจุลทรรศน์อิเลคตรอนแบบส่องกราด ที่ติดตั้งหน่วยวิเคราะห์รังสีเอกซ์เรืองระบบ EDX เพื่อศึกษาขนาดรูปร่าง และธาตุที่เป็นส่วนประกอบของอนุภาคฝุ่นขนาดเล็กจากอากาศ จากการวิเคราะห์ตัวอย่างผุ่นจากอากาศ บริเวณศูนย์เครื่องมือวิจัยวิทยาศาสตร์ และเทคโนโลยีจุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย พบว่า ค่าเฉลี่ยของปริมาณธาตุหลักในฝุ่นเป็นดังนี้ ธาตุอะลูมิเนียม ซิลิกอน โปแตสเซียมแคลเซียม เหล็ก และกำมะถัน มีค่าเป็นร้อยละโดยน้ำหนัก ตามลำดับดังนี้6.32 22.04 1.80 10.36 1.82 และ 4.17 สำหรับธาตุปริมาณน้อยบางธาตุ เช่น ตะกั่ว แมงกานีส โบรมีน นิกเกิล สังกะสี ทิเทเนียม และทองแดง มีค่าเป็น 2.084 0.272 0.512 0.443 3.635 1.775 และ2.066 มิลลิกรัม ต่อกรัม ตามลำดับ สำหรับตัวอย่างฝุ่นจากอากาศ บริเวณอำเภอศรีราชา จังหวัดชลบุรี พบว่า ค่าเฉลี่ยของปริมาณธาตุหลักในฝุ่นเป็นดังนี้ ธาตุอะลูมิเนียม ซิลิกอน โปแตสเซียม แคลเซียม เหล็กและกำมะถันมีค่าเป็นร้อยละโดยน้ำหนัก ตามลำดับดังนี้ 7.41 32.18 2.87 2.722.07 และ 2.31 สำหรับธาตุปริมาณน้อยบางธาตุ เช่นตะกั่ว แมงกานีสโบรมีน นิกเกิล สังกะสี ทิเทเนียม และทองแดง มีค่าเป็น 0.486 0.5510.428 0.523 0.205 2.944 และ 0.604 มิลลิกรัมต่อกรัม ตามลำดับ