ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Uniformity improvement of etching process using principal component analysis technique

หน่วยงาน จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Uniformity improvement of etching process using principal component analysis technique
นักวิจัย : Peerapol Boonyuen
คำค้น : -
หน่วยงาน : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
ผู้ร่วมงาน : Montree Wongsri , Chulalongkorn University. Faculty of Engineering
ปีพิมพ์ : 2546
อ้างอิง : 9741747071 , http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/26637
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Thesis (M.Eng.)--Chulalongkorn University, 2003

บรรณานุกรม :
Peerapol Boonyuen . (2546). Uniformity improvement of etching process using principal component analysis technique.
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย.
Peerapol Boonyuen . 2546. "Uniformity improvement of etching process using principal component analysis technique".
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย.
Peerapol Boonyuen . "Uniformity improvement of etching process using principal component analysis technique."
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2546. Print.
Peerapol Boonyuen . Uniformity improvement of etching process using principal component analysis technique. กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย; 2546.