ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง

หน่วยงาน สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง
นักวิจัย : วราวุฒิ เถาลัดดา
คำค้น : ฟิล์มบาง , อาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง , แคโทด
หน่วยงาน : สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2553
อ้างอิง : http://dric.nrct.go.th/Search/SearchDetail/238306
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย : -
บรรณานุกรม :
วราวุฒิ เถาลัดดา . (2553). การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง.
    กรุงเทพมหานคร : คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง,.
วราวุฒิ เถาลัดดา . 2553. "การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง".
    กรุงเทพมหานคร : คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง,.
วราวุฒิ เถาลัดดา . "การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง."
    กรุงเทพมหานคร : คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง,, 2553. Print.
วราวุฒิ เถาลัดดา . การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง. กรุงเทพมหานคร : คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง,; 2553.