ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การศึกษาเทคโนโลยีการปลูกฟิล์มอะมอร์ฟัสซิลิคอน ด้วยวิธีพลาสมาซีวีดีความถี่สูงมาก เพื่อให้ได้อัตราการปลูกฟิล์มสูง

หน่วยงาน สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การศึกษาเทคโนโลยีการปลูกฟิล์มอะมอร์ฟัสซิลิคอน ด้วยวิธีพลาสมาซีวีดีความถี่สูงมาก เพื่อให้ได้อัตราการปลูกฟิล์มสูง
นักวิจัย : สุนทร ชาวหนองหิน
คำค้น : ฟิล์มบาง , อะมอร์ฟัสซิลิกอน , ฟิล์มบาง , อะมอร์ฟัสซิลกอน
หน่วยงาน : สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2544
อ้างอิง : http://dric.nrct.go.th/Search/SearchDetail/128090
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย : -
บรรณานุกรม :
สุนทร ชาวหนองหิน . (2544). การศึกษาเทคโนโลยีการปลูกฟิล์มอะมอร์ฟัสซิลิคอน ด้วยวิธีพลาสมาซีวีดีความถี่สูงมาก เพื่อให้ได้อัตราการปลูกฟิล์มสูง.
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย,.
สุนทร ชาวหนองหิน . 2544. "การศึกษาเทคโนโลยีการปลูกฟิล์มอะมอร์ฟัสซิลิคอน ด้วยวิธีพลาสมาซีวีดีความถี่สูงมาก เพื่อให้ได้อัตราการปลูกฟิล์มสูง".
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย,.
สุนทร ชาวหนองหิน . "การศึกษาเทคโนโลยีการปลูกฟิล์มอะมอร์ฟัสซิลิคอน ด้วยวิธีพลาสมาซีวีดีความถี่สูงมาก เพื่อให้ได้อัตราการปลูกฟิล์มสูง."
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย,, 2544. Print.
สุนทร ชาวหนองหิน . การศึกษาเทคโนโลยีการปลูกฟิล์มอะมอร์ฟัสซิลิคอน ด้วยวิธีพลาสมาซีวีดีความถี่สูงมาก เพื่อให้ได้อัตราการปลูกฟิล์มสูง. กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย,; 2544.