วัตถุประสงค์ของโครงการ คือ การศึกษาคุณสมบัติทางเคมีและกายภาพของวัสดุสำหรับ gas sensor แบบ thin film ที่สร้างด้วยกระบวนการelectron beam evaporation และ sputtering ด้วยเทคนิคโฟโตอิมิชชัน โดยการศึกษานี้ทำเพื่อที่จะศึกษาความสัมพันธ์ระหว่างคุณสมบัติทางเคมีและกายภาพของวัสดุกับ gas-sensing characteristics และวิเคราะห์ gas-sensing mechanisms ที่เกี่ยวข้องซึ่งการศึกษานี้เป็นประโยชน์อย่างมากต่อการพัฒนา gas sensors เพื่อการนำไปใช้งานในเชิงพาณิชย์ต่อไป This project is a part of the development of semiconductor thin film gas sensors, whose demand has been continually rising in Thailand. The successful development of the gas sensor is mainly relying on the understanding and control of gas sensing materials. Thus, this project is focusing on characterizations of thin film gas sensor material deposited by electron beam evaporation and sputtering techniques. The scope of project includes deposition of gas sensing materials, characterization by photoemission techniques, then material characterization by transmission electron microscopy (TEM), Scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD), gas sensor fabrication, gas sensor testing, and analysis of the experimental data.