การพัฒนาเซ็นเซอร์อาร์เรย์โดยใช้เทคโนโลยีระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค (MEMS) เพื่อตรวจวัดสารเคมี เป็นเรื่องที่มีความสำคัญอย่างมากในวงการวิจัยทั้งในและต่างประเทศ และมีการพัฒนาวิจัยที่แข่งขันกันอย่างสูง ทั้งนี้ในปัจจุบันยังไม่มีองค์กรใดหรือประเทศใดในโลกที่เป็นผู้นำโดดเด่นทางด้านเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ขนาดเล็กดังกล่าว จึงเป็นโอกาสสำหรับประเทศไทยที่ได้เริ่มพัฒนาทางด้านนี้มาไม่นานนัก ที่จะก้าวทันประเทศอื่นในโลกในเรื่องการวิจัยพัฒนาระบบเซ็นเซอร์นี้ และถ้าเราสามารถพัฒนาให้สามารถใช้งานกับอุตสาหกรรมเฉพาะในประเทศ ที่เรามีความเชี่ยวชาญและมีฐานความรู้อยู่สูง เช่น การเกษตรกรรม เทคโนโลยีอาหาร ฯลฯ ก็จะยิ่งเพิ่มโอกาสในการเป็นผู้นำในด้านเทคโนโลยีดังกล่าว แนวทางการผลิตเซ็นเซอร์มีหลากหลาย เช่น ก๊าซเซ็นเซอร์ซึ่งสามารถตรวจจับก๊าซสารเคมีได้เฉพาะแต่ละชนิด Biosensors ซี่งตรวจจับจุลินทรีย์หรือสารชีวภาพเฉพาะอย่างได้ โดยต้องมีการออกแบบตัวรับสารที่มีความเฉพาะสูง (high selectivity) อีกแนวทางหนึ่งซึ่งเป็นหลักสำคัญของโครงการ คือ การใช้สารที่สามารถจับโมเลกุลของสารได้หลายชนิด โดยเกิดการเปลี่ยนคุณสมบัติของสารนั้นต่างกันไป หรือมีประสิทธิภาพการจับโมเลกุลที่ต่างกันไป ข้อมูลที่ได้จากความแตกต่างนี้สามารถมาใช้ตรวจจับและชี้วัดสารเคมีแต่ละตัวได้ต่างๆ การตรวจจับสารเคมีจะเป็นในลักษณะการเรียนรู้ pattern ที่เกิดขึ้นบนระบบของหัวเซ็นเซอร์ที่ต่างๆกันไป โดยเป็นการเลียนแบบการรับรู้กลิ่นหรือรสของมนุษย์ แนวทางการวิจัยด้านระบบเซ็นเซอร์เรียนรู้นี้จะเป็นไปในลักษณะบูรณาการ โดยจะอาศัยความรู้หลายสาขา ได้แก่ เคมีสังเคราะห์และวิเคราะห์ ฟิสิกส์และวิศวกรรมของพื้นผิว วิศวกรรมไฟฟ้า และ วิศวกรรมคอมพิวเตอร์ จึงเป็นโครงการที่ดีที่จะเป็นการร่วมมือวิจัยและพัฒนาระหว่างศูนย์ภายใน สวทช และหน่วยงานภายนอกโครงการมุ่งเน้นการสร้างต้นแบบชิปที่ประกอบด้วยไมโครเซ็นเซอร์มากกว่าหนึ่งตัวบนชิปเดียวกัน เพื่อเพิ่มความแม่นยำในการวัด โดยใช้เทคโนโลยีระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค (MEMS) เพื่อสร้างอิเล็กโทรดและไมโครฮีตเตอร์บนชิป This project focus on the prototype of sensor array on the same chip which consisted on more than one sensor fabricated on the same substrate in an array manner with integrated microheaters. The fabrication based on the technology of Micro-Electro-Mechanical system (MEMS). It will be suitable for developing to be an alcohol gas sensing device with high sensitivity and selectivity.