การเคลือบฟิล์มทองลงบนแผ่นแก้วด้วยวิธีการเคลือบแบบ ดี.ซี.สปัตเตอริ่ง เป็นขบวนการ ที่สารเคลือบมีพลังงานสูง จึงให้การยึดเกาะของฟิล์มเคลือบที่ดีกว่าขบวนการเคลือบแบบ ระเหยสารในสูญญากาศ การทำให้การยึดเกาะระหว่างฟิล์มทองกับแผ่นชิ้นงานมีค่าสูงขึ้น สามารถทำได้โดยการทำให้ชิ้นงานมีความสะอาดสูง ปราศจากไขมัน โดยการทำความสะอาด ด้วยน้ำดีไอออไนซ์ อะซีโตน น้ำดีไอออไนซ์ และไอโซโพรพิล แอลกอฮอล์ ตามลำดับ โดยการทำ ความสะอาดแต่ละครั้ง จะทำภายใต้การสั่นของเครื่องทำความสะอาด อัลตร้าโซนิค 30 นาที ต่อน้ำยาทำความสะอาดแต่ละชนิดดังกล่าว เพื่อให้ได้ชิ้นงานที่สะอาดและเหมาะต่อการยึด เกาะของฟิล์มอย่างแท้จริง เครื่อง ดี.ซี.สปัตเตอริ่งที่ใช้ในงานวิจัยนี้เป็นรุ่น ARC-12 automated Research coater บริษัท Plasma Science Inc. โดยใช้เป้าสารเคลือบที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์ กลาง 2 นิ้ว เป้าสารเคลือบที่ใช้เป็นทอง 24 กะรัต มีความบริสุทธิ์ 99.9 เปอร์เซ็นต์ ในระบบ สูญญากาศนี้ สามารถลดความดันได้ต่ำกว่าหรือเท่ากับ 5x10(-6) มิลลิบาร์ ทำการป้อนกาซ อาร์กอน จนความดันเท่ากับ 5x10(-3) มิลลิบาร์ ในขณะทำการเคลือบ ความหนาของฟิล์มเคลือบ ควบคุมได้ด้วยการควบคุมพลังงาน (กำลังไฟฟ้า x เวลา) ที่ใช้ในกระบวนการเคลือบฟิล์มบาง เมื่อความหนาฟิล์มทองมีค่าต่ำ พบว่า อะตอมของทองจะรวมตัวกันเป็นกลุ่ม เกิดหย่อมทอง กระจายอันเนื่องมาจากค่าแรงตึงผิวที่มีค่าสูงระหว่างทองและแผ่นแก้ว เมื่อหย่อมเหล่านี้ ขยายตัว จึงเกิดการเชื่อมตัวกัน และวัดค่าความนำไฟฟ้าได้ เมื่อฟิล์มมีความหนา 80 อังสตรอม ค่าความต้านทานไฟฟ้าของฟิล์ม ซึ่งทำการวัดขณะฟิล์มยังคงอยู่ภายในระบบสูญญากาศโดย ใช้ลวดทองแดงต่อมายังโอห์มมิเตอร์ภายนอกระบบหรือ four point probe ภายหลังจากนำชิ้นงาน ออกจากระบบสูญญากาศแล้ว ค่าการสะท้อนและการส่องผ่านของแสงในงานวิจัยนี้ ได้ทำการวัด โดยใช้เครื่อง Spectrophotometer (บริษัท Shimadzu Co. Ltd. รุ่น UV-VIS-IR 2100) ที่ความ หนา 80 อังสตรอม ค่าการสะท้อนแสงของฟิล์มทองจะทำการวัดตั้งแต่ 190 จนถึง 2100 นาโนเมตร พบว่าจะมีค่าการสะท้อนแสงที่ 190 นาโนเมตรอยู่ที่ 10 เปอร์เซ็นต์ และเพิ่มขึ้นจนถึง 40 เปอร์เซ็นต์ ที่ 2100 นาโนเมตร ค่าการสะท้อนแสงจะมีค่าเพิ่มขึ้น เมื่อความหนาของฟิล์ม เพิ่มขึ้น และมีค่าการสะท้อนแสงใกล้เคียงกับวัสดุทองทึบ ที่ความหนาฟิล์มประมาณ 310 อังสตรอม พลังงานในการเคลือบที่ 1000 จูล ที่ความดัน 5x10(-3) มิลลิบาร์ จะได้ความหนาฟิล์ม 155 อังสตอม ฟิล์มจะเกิดการเชื่อมต่อกันดี โดยมีค่าความต้านทานไฟฟ้าเชิงผิวประมาณ 6 โอห์ม เมื่อเพิ่มความดันของกาซอาร์กอนจาก 5x10(-3) ไปเป็น 1x10(-2) และ 5x10(-2) พบว่าค่าความต้านทานไฟฟ้าเชิงผิวจะสูงขึ้น จนความดันเท่ากับ 1x10(-1) มิลลิบาร์ จะไม่ พบการเชื่อมต่อของฟิล์ม เมื่อตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน โดย การเคลือบฟิล์มทองลงบนโพลีไวนิล ฟอร์มวาร์ที่อยู่บนกริดทองแดง พบว่า ฟิล์มที่เคลือบ โดยใช้ความดันของกาซอาร์กอนเท่ากับ 5x10(-3) มิลลิบาร์ จะครอบคลุมทั่วทั้งชิ้นงาน โดยมีขนาดของเกรนใกล้เคียงกับความหนา เมื่อทำการเพิ่มความดันกาซอาร์กอน ขนาดของ เกรนจะเพิ่มขึ้น แต่ความหนาลดลง และค่าความต้านทานไฟฟ้าเพิ่มขึ้น และพบช่องว่างบน ฟิล์มมากขึ้น การเชื่อมต่อของฟิล์มไม่สมบูรณ์ เนื่องจากอัตราการเคลือบต่ำ จากการชนและ การสะท้อนกลับระหว่างอะตอมของทองและโมเลกุลของกาซ ฟิล์มทองที่มีค่าความหนามาก กว่าก็จะมีความสามารถในการตรวจจับสัญญาณทางเคมีไฟฟ้าเพิ่มขึ้น เนื่องจากเพิ่มพื้นที่ใน การเกิดปฏิกิริยา