วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2551

รังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลต (อียูวี) เป็นรังสีที่คาดว่ามีการใช้อย่างกว้างขวางในวงการอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำในอนาคตและเครื่องพลาสมาโฟกัสเป็นเครื่องที่มีศักยภาพในการเป็นแหล่งกำเนิดรังสีและอนุภาค เครื่องดังกล่าวสามารถดัดแปรเพื่อใช้กับงานต่าง ๆได้โดยไม่ยุ่งยาก ดังนั้น การวิจัยเกี่ยวกับแหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลตจึงให้ความสนใจกับการประยุกต์เครื่องพลาสมาโฟกัส สำหรับการหาค่าตัวแปรที่เหมาะสมต่อการกำเนิดรังสีดังกล่าวได้ใช้แบบจำลองสมดุล คอโรนาและแบบจำลองการเคลื่อนที่ของพลาสมา แบบจำลองดังกล่าวได้ใช้วิธีการประมาณค่าในช่วงเพื่อทำนายกระแสที่นอร์มัลไลซ์กับความดันที่ใช้ในการทดลอง เมื่อได้ค่าตัวแปรที่เหมาะสมแล้ว จากนั้นทำการดัดแปรเครื่องพลาสมาให้สอดคล้องกับตัวแปรดังกล่าว ผลที่ได้จากการคำนวณตามแบบจำลองและการทดลองจะนำมาเปรียบเทียบกัน ในการตรวจจับพลาสมาในการทดลองได้ใช้อุปกรณ์ตรวจจับกระแส ความต่างศักย์ของเครื่องพลาสมาและสัญญาณของรังสีที่แผ่ออกมา จากแบบจำลองพบว่าเงื่อนไขที่เหมาะสำหรับการดัดแปรเครื่องพลาสมานั้นมีสองเงื่อนไข ได้แก่ ความยาวของแท่งแอโนด 7.5 เซนติเมตร ความต่างศักย์ที่ตกคร่อมตัวเก็บประจุขนาด 6.5 กิโลโวลต์ ที่ความดัน 2 มิลลิบาร์ โดยเป็นเครื่องพลาสมาโฟกัสพลังงานขนาด 634 จูล และความยาวของแท่งแอโนด 9.0 เซนติเมตร ความต่างศักย์ที่ตกคร่อมตัวเก็บประจุขนาด 8.0 กิโลโวลต์ ที่ความดัน 2.5 มิลลิบาร์ โดยเป็นเครื่องพลาสมาโฟกัสพลังงานขนาด 960 จูล เมื่อทำการดัดแปรตามพารามิเตอร์ดังกล่าวพบว่ารังสีที่แผ่ออกจากเครื่องพลาสมาโฟกัสนั้นครอบคลุมความยาวคลื่นรังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลต จากการทดลองพบว่าความเข้มของรังสีที่มากที่สุดเมื่อดัดแปรเครื่องดังกล่าวให้สอดคล้องกับพารามิเตอร์ตามเงื่อนไขถัดมาที่ความดัน 0.5 มิลลิบาร์ แต่เมื่อเปรียบเทียบผลจากแบบจำลองกับผลการทดลอง พบว่าความดันในระบบปฏิบัติการที่จุดเหมาะสมไม่สอดคล้องกับการทดลอง อย่างไรก็ตามที่จุดดังกล่าวมีการปลดปล่อยรังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลตได้