| ชื่อเรื่อง | : | Studies Of The Effect Of Post Deposition Annealing To The Ceo2 Thin Film On P-Type Silicon And N-Type Silicon Carbide Substrates |
| นักวิจัย | : | Chuah, Soo Kiet |
| คำค้น | : | TN1-997 Mining engineering. Metallurgy |
| หน่วยงาน | : | Universiti Sains Malaysia, Malaysia |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2554 |
| อ้างอิง | : | http://eprints.usm.my/43243/1/CHUAH%20SOO%20KIET.pdf , Chuah, Soo Kiet (2011) Studies Of The Effect Of Post Deposition Annealing To The Ceo2 Thin Film On P-Type Silicon And N-Type Silicon Carbide Substrates. Masters thesis, Universiti Sains Malaysia. |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | http://eprints.usm.my/43243/ , http://ezproxy.usm.my/login?url=http ://ethesis.usm.my/jspui |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | Cerium Oxide (CeO2) thin film has been deposited on silicon (Si) and silicon carbide (SiC) substrates using a radio frequency magnetron sputtering technique. The effect of post deposition annealing at different temperatures (400, 600, 800 and 1000oC) in argon (Ar) ambient for 30 minutes has been investigated on p-type Si and n-type SiC substrates. The thickness of the CeO2 thin films on Si and SiC substrates are in the range of 30 to 40 nm. Field emission scanning electron microscopy and atomic force microscopy show that both CeO2 thin films on Si and SiC substrates are free of physical defects and the root mean square surface roughness are decreasing as the annealing temperature increases. |
| บรรณานุกรม | : |
Chuah, Soo Kiet . (2554). Studies Of The Effect Of Post Deposition Annealing To The Ceo2 Thin Film On P-Type Silicon And N-Type Silicon Carbide Substrates.
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Chuah, Soo Kiet . 2554. "Studies Of The Effect Of Post Deposition Annealing To The Ceo2 Thin Film On P-Type Silicon And N-Type Silicon Carbide Substrates".
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Chuah, Soo Kiet . "Studies Of The Effect Of Post Deposition Annealing To The Ceo2 Thin Film On P-Type Silicon And N-Type Silicon Carbide Substrates."
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia, 2554. Print. Chuah, Soo Kiet . Studies Of The Effect Of Post Deposition Annealing To The Ceo2 Thin Film On P-Type Silicon And N-Type Silicon Carbide Substrates. กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia; 2554.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
