| ชื่อเรื่อง | : | Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis |
| นักวิจัย | : | Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah |
| คำค้น | : | Q179.9-180 Research |
| หน่วยงาน | : | Universiti Sains Malaysia, Malaysia |
| ผู้ร่วมงาน | : | Ahmad, Abdul Latif , Yahya, Ahmad Ramli Mohd , Abdullah, Amirul AI-Ashraf , Muhammad, Tengku Sifzizul Tengku |
| ปีพิมพ์ | : | 2547 |
| อ้างอิง | : | Salleh, Mohd Hazimin Mohd and Bidin, Noriah (2004) Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis. In: The 4th Annual Seminar of National Science Fellowship NSF 2004 Proceedings. Penerbit Universiti Sains Malaysia, Pulau Pinang, Malaysia, pp. 328-330. , http://eprints.usm.my/41886/1/pAMN06.pdf |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | http://eprints.usm.my/41886/ |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | The growing interest in precise fabrication of micro and nano-structures such as optical component, lenses, sensor and devices makes the conventional approach no longer satisfactory for micro scale structure. Now, nano-technology has a big potential to revolutionize everything from medicine, industrial manufacturing and to computer within a few decades. |
| บรรณานุกรม | : |
Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah . (2547). Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis.
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah . 2547. "Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis".
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia. Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah . "Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis."
กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia, 2547. Print. Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah . Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis. กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia; 2547.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
